Поиск по сайту:

Физико-математические науки

Назад ко всем разделам РГБ

id: 317. Кандидатская диссертация

Исследование источников неравновесной плазмы на основе СВЧ разрядов, предназначенных для осаждения алмазных пленок.

Автор: Колданов Владимир Александрович

Код специальности: 01.04.08 - Физика плазмы

2006 год.

Содержание:

ВВЕДЕНИЕ....................................................................................................................................4

Положения, выносимые на защиту......................................................................................10

ГЛАВА 1, ОБЗОР СВЧ РАЗРЯДОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В РЕАКТОРАХ ПО ОСАЖДЕНИЮ АП.....................................................................................................................12

1.1 Осаждение алмазных пленок из газовой фазы (CVD технология).............................12

1.2 CVD реакторы на основе СВЧ разряда..........................................................................19

1.3 Параметры плазмы в CVD реакторах с СВЧ разрядом................................................22

1.4 Задачи CVD технологии и поиск путей их решения....................................................26

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СВЧ РАЗРЯДА В ЦИЛИНДРИЧЕСКОМ РЕЗОНАТОРЕ.....................................................................................29

2.1 Экспериментальная установка.......................................................................................30

2.1 Л. Генераторный блоке 6 кВт магнетроном...........................................................31

2.1.2. Блок питания магнетрона......................................................................................31

2.1.3. Плазменный реактор на основе объемного резонатора.....................................32

2.1.4. Реакционная камера с регулируемой системой охлаждения подложки...........33

2.1.5. Система контроля газового потока.......................................................................34

2.1.6. Система автоматического управления установкой.............................................34

2.1.7. Система регистрации оптического излучения СВЧ разряда.............................35

2.2 Методы измерения параметров СВЧ разряда...............................................................35

2.2.1. Измерение степени диссоциации водорода в разряде........................................35

2.2.2. Методика измерения температуры газа в разряде..............................................39

2.3 Диалюстика качества алмазных пленок по рамановским спектрам..........................41

2.4 Исследование влияния внешних параметров на характеристики СВЧ разряда........43

2.4.1. Влияние давления газовой смеси и СВЧ мощности...........................................43

2.4.2. Влияние состава газовой смеси............................................................................47

2.4.3. Исследование импульсного режима поддержания разряда...............................49

2.5 Экспериментальное исследование процессов осаждения АП.....................................50

2.5.1. Зависимость скорости роста АП от процентного содержания метана.............50

2.5.2. Зависимость скорости роста от режима поддержания СВЧ разряда (1,5 кВт) 51 2.53. Влияние частоты следования импульсов на рост АП (3 кВт)...........................52

2.6. Обсуждение результатов................................................................................................55

ГЛАВА 3. САМОСОГЛАСОВАННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИМПУЛЬСНОГО И НЕПРЕРЫВНОГО СВЧ РАЗРЯДОВ В ВОДОРОДЕ...............................................................59

3.1 Описание модели.............................................................................................................60

3.1.1. Электродинамический и плазменный блоки.......................................................61

3.1.2. Газодинамический блок.........................................................................................62

3.1.3. Блок вычислений концентрации атомарного водорода......................................66

3.1.4. Блок расчетов с учетом колебательной кинетики водорода..............................68

3.1.5. Блок расчетов с учетом диссоциативного прилипания электронов..................71

3.L6. Методика сравнения результатов моделирования с экспериментальными данными............................................................................................................................72

3.2 Результаты численного моделирования и их обсуждение.........................................73

3.2.1. Сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными......73 ,

3.2.2. Механизмы переноса энергии в непрерывном СВЧ разряде.............................77

3.2.3. Влияние метана на ионный состав плазмы..........................................................78

3.2.4. Обсуждение основного механизма ионизации в СВЧ разряде в водороде......80 3.3

Выводы..............................................................................................................................82

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ИМПУЛЬСНОГО РАЗРЯДА НА ПОВЕРХНОСТНОЙ ВОЛНЕ..........................................................................................................................................84

4.1 Аналитическое описание разряда на поверхностной волне......................:.................84

4.2 Возбудители разряда па поверхностной волне.............................................................86

4.3 Экспериментальное исследование импульсного РПВ в воздухе................................87

4.3.1, Схема экспериментальной установки..................................................................87

4.3.2. Исследование механизма движения фронта РПВ в воздухе..............................89

4.4 Моделирование импульсного СВЧ разряда на поверхностной волне в воздухе......91

4.4. L Описание модели....................................................................................................91

4.4.2. Результаты расчетов и их обсуждение.................................................................93

4.5 Исследование РПВ в водород-метоновых смесях........................................................98

4.6 Моделирование процессов ионной конверсии в водородном разряде.....................102

4.7 Применение разряда на поверхностной волне для напыления алмазных пленок... 105

4.7.1. Схема микроволнового CVD реактора на базе ПВ...........................................105

4.7.2. Описание численной модели для микроволнового CVD реактора на ПВ.....106

4.7.3. Влияние давления и положения подложки на скорость роста АП..................107

4.6.4. Зависимость параметров разряда от скорости газового потока......................108

4.6.5. Оценки для скорости роста АП..........................................................................ПО

ЗАКЛЮЧЕНИЕ..........................................................................................................................113

ЛИТЕРАТУРА...........................................................................................................................116

Список публикаций по теме диссертации................................................................120

Цена: 640 рублей.

Заказать доставку

Похожие диссертации:

1122Исследование и разработка композиционных материалов на основе систем Cu-SiC и Cu-Cr, получаемых методом механического легирования
Просвиряков Алексей Сергеевич

ВВЕДЕНИЕ 5

1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ 9

1.1 Медь как основа электротехнических материалов 9

1.2 Материалы для разрывных электрических контактов 9

1.3 Дисперсноупрочненные к

557Бухгалтерский учет и экономический анализ источников финансирования организации
Скуднов Дмитрий Владимирович

Введение 3

Глава 1. Современное состояние бухгалтерского учета источников финансирования организации 9

1.1. Классификация источников финансирования 9

1.2. Концептуаяьные во

559Оптимизация структуры источников финансирования хозяйственной деятельности предприятия
Садчиков Алексей Вячеславович

ВВЕДЕНИЕ 3

ГЛАВА I. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ОПТИМИЗАЦИИ СТРУКТУРЫ ИСТОЧНИКОВ ФИНАНСИРОВАНИЯ ХОЗЯЙСТВЕННОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ПРЕДПРИЯТИЯ 12

1.1. Теоретические предпосылки и модели оптимиза

564Система источников финансирования социальной сферы муниципальных образований и ее совершенствование
Луговой Олег Викторович

ВВЕДЕНИЕ з

IЛАВА. СОЦИАЛЬНАЯ ПОЛИТИКА И ЕЕ ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ В УСЛОВИЯХ РЫНОЧНОЙ ЭКОНОМИКИ. 10

1.1. Социальная политика и ее основные задачи на современном этапе развития обществ

800Избирательные споры в Российской федерации: Конституционно-правовое исследование исследование
Казанцев Антон Олегович

Введение 3

Глава 1. Конституционно-правовая характеристика избирательных споров 15

§ 1. Избирательные споры: понятие и причины их возникновения 15

§2. Классификация избират

350Криминалистическое исследование метательного оружия
Соловьёв Константин Анатольевич

Введение............................................................................................-3

Глава 1. Научные основы криминалистического исследования метательного оружия.........

979Перспективный анализ на основе финансовой отчетности
Яновский Александр Владимирович

СПИСОК ОСНОВНЫХ НАУЧНЫХ ТЕРМИНОВ И СОКРАЩЕНИЙ....4

ВВЕДЕНИЕ.............................................................................................................6

I. ТЕОРЕТИЧ

745Исследование субъектности и ее развития в дошкольном возрасте
Варёнова Юлия Александровна

Введение

Глава I, Проблема субъектных оснований психического развития

1.1. Философско-психологические парадигмы развития человека: вос¬хождение к антропологическим взглядам на п

487Оценка персонала предприятия на основе компетенций
Платонова Татьяна Владимировна

Введение 3

Глава 1. Теоретические аспекты оценки персонала предприятия 10

1.1 Эволюция теоретических взглядов на персонал предприятия и его оценку 10

1.2 Методические подход

364Исследование результативности расходования бюджетных средств на образование
Роганова, Светлана Юрьевна

Введение 3

Глава 1. Особенности формирования бюджетных расходов на образование и бюджетирования, ориентированного на результат в условиях бюджетной реформы 2001-2008гг. 10

<

Назад ко всем разделам РГБ